雙面光刻機(jī)控制系統(tǒng)的研究與設(shè)計.pdf

1、隨著半導(dǎo)體工業(yè)的不斷發(fā)展，基片面積越來越大，這些器件在集成度、超微線寬、縱深比、對準(zhǔn)精度等指標(biāo)的要求越來越高，這對光刻機(jī)的控制系統(tǒng)也提出了更高層次的要求，需要控制系統(tǒng)實現(xiàn)基片與掩模精確找平和高精度對準(zhǔn)，同時做到操作簡單，靈活性強，可靠性高。論文根據(jù)雙面光刻機(jī)性能指標(biāo)的要求，對控制系統(tǒng)需求進(jìn)行了分析，從運動控制和系統(tǒng)軟件兩個方面進(jìn)行了研究與設(shè)計。 整機(jī)控制系統(tǒng)采用分布式結(jié)構(gòu)，閉環(huán)控制的方法，從控制器和執(zhí)行電機(jī)兩個主要環(huán)節(jié)對運動控制

2、系統(tǒng)進(jìn)行了分析。對直流伺服電機(jī)進(jìn)行了建模，分析了直流伺服電機(jī)及減速組件的具體選型及應(yīng)用。對PID控制器進(jìn)行分析，優(yōu)化PID控制參數(shù)，提高對準(zhǔn)工作臺的響應(yīng)速度和定位精度，滿足性能指標(biāo)要求。 系統(tǒng)軟件采用WIN2000操作系統(tǒng)為開發(fā)平臺、vC++作為開發(fā)工具，確定采用模塊化的設(shè)計思想，設(shè)計編寫了雙面光刻機(jī)的系統(tǒng)控制程序，并進(jìn)行了可靠性設(shè)計，使其具有動態(tài)故障檢測診斷、自動保護(hù)功能，提高了控制軟件的可靠性，實現(xiàn)了雙面光刻機(jī)的控制功能。采