浸沒光刻機浸液溫控系統(tǒng)設(shè)計分析與實現(xiàn).pdf

1、浸沒光刻機是應(yīng)用于集成電路制造的關(guān)鍵設(shè)備，其浸沒系統(tǒng)的浸液溫度是影響其性能指標(biāo)的關(guān)鍵因素之一。浸液溫度控制的性能主要由浸液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)與浸液系統(tǒng)的控制算法決定，本文主要研究浸液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)。主要研究工作和結(jié)論如下：
　　提出了使用冷卻水通過熱交換器控制浸液溫度和調(diào)節(jié)冷卻水的流量控制浸液溫度的穩(wěn)定性的浸液溫控原理。與通過直接加熱和制冷方式控制浸液溫度的原理相比，有效地利用了工廠的冷卻水系統(tǒng)，無需制冷加熱裝置，降低了用戶使用成本，且可以獲

2、得更高的溫度穩(wěn)定性和抗干擾能力。
　　提出了在浸液溫控回路中嵌套循環(huán)回路的初步技術(shù)方案，使部分浸液一直處于溫控狀態(tài)，增大回路中浸液流量，從而使其抗環(huán)境溫度變化產(chǎn)生的擾動的能力更強，同時，將流量伺服閥設(shè)計在循環(huán)回路中對出口流量進行調(diào)節(jié)，避免了對出口溫度的影響。并建立了實驗裝置對該技術(shù)方案進行了實驗驗證，實驗數(shù)據(jù)表明，該技術(shù)方案可以獲得更好的溫度穩(wěn)定性。
　　樣機設(shè)計將溫控系統(tǒng)與浸液處理系統(tǒng)進行了集成，分析了污染處理器件、去氣器