光刻機(jī)軟件自動(dòng)化測(cè)試工具的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、光刻機(jī)是生產(chǎn)大規(guī)模集成電路的核心裝備，制造和維護(hù)光刻機(jī)需要高度的光學(xué)和電子工業(yè)基礎(chǔ)。作為集成電路生產(chǎn)工藝中最重要的一環(huán)光刻，它的靈魂裝備光刻機(jī)，結(jié)合了當(dāng)今諸多現(xiàn)代科技于一身。如果把光刻機(jī)比作一個(gè)人，光刻機(jī)軟件就是這個(gè)人的大腦，光刻機(jī)的實(shí)際應(yīng)用情況，決定了光刻機(jī)軟件的復(fù)雜度和精密度要度遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過普通應(yīng)用軟件，要保證這個(gè)大腦的可靠性，保證光刻機(jī)軟件的正常運(yùn)行，不僅僅需要開發(fā)人員的努力，大量的軟件測(cè)試也是必不可少的。
　　本文的目標(biāo)是設(shè)計(jì)

2、并實(shí)現(xiàn)了一個(gè)針對(duì)現(xiàn)階段國(guó)產(chǎn)先進(jìn)封裝光刻機(jī)軟件開發(fā)過程的自動(dòng)化測(cè)試工具，它實(shí)現(xiàn)了在一般操作環(huán)境上測(cè)試運(yùn)行在SUN平臺(tái)和vxWorks平臺(tái)上的光刻機(jī)軟件，并幫助實(shí)現(xiàn)自動(dòng)化測(cè)試過程，提高了工作效率。此套自動(dòng)化測(cè)試工具實(shí)現(xiàn)后，在實(shí)際的工作中也得到了比較好的應(yīng)用。
　　首先論文介紹了光刻技術(shù)的基本原理，之后闡述了軟件自動(dòng)化測(cè)試的優(yōu)勢(shì)，之后論文對(duì)軟件自動(dòng)化測(cè)試在國(guó)內(nèi)和國(guó)外的現(xiàn)狀進(jìn)行了分析，并簡(jiǎn)單介紹了軟件自動(dòng)化測(cè)試的過程，之后對(duì)現(xiàn)有市場(chǎng)上的一

3、些商用自動(dòng)化測(cè)試工具進(jìn)行了調(diào)研，在此基礎(chǔ)上，認(rèn)為自主開發(fā)一套能夠適合現(xiàn)有光刻機(jī)軟件系統(tǒng)開發(fā)過程的自動(dòng)化測(cè)試工具，是最合適目前的現(xiàn)狀的。
　　在工具開發(fā)前，論文介紹了現(xiàn)階段最新國(guó)產(chǎn)先進(jìn)封裝光刻機(jī)的整機(jī)軟件構(gòu)造，展現(xiàn)了光刻機(jī)整機(jī)軟件的系統(tǒng)架構(gòu)和系統(tǒng)范圍，在此基礎(chǔ)上，描述了光刻機(jī)軟件的主要業(yè)務(wù)和功能需求，并分析了在實(shí)際生產(chǎn)過程中，光刻機(jī)軟件的主要運(yùn)行參數(shù)。
　　經(jīng)過以上的分析，本論文就進(jìn)入測(cè)試工具設(shè)計(jì)需求階段，描述了軟件的設(shè)計(jì)背景

4、，并對(duì)自動(dòng)化測(cè)試工具所要實(shí)現(xiàn)的軟件需求進(jìn)行了一個(gè)概述，提出了自動(dòng)化測(cè)試工具的總體設(shè)計(jì)目標(biāo)和思路，在此基礎(chǔ)上，將自動(dòng)化測(cè)試工具分解為測(cè)試驅(qū)動(dòng)模塊、測(cè)試公共庫(kù)模塊、代碼生成模塊、數(shù)據(jù)服務(wù)模塊幾大部分，分別實(shí)現(xiàn)通用測(cè)試驅(qū)動(dòng)、底層的公共的測(cè)試接口庫(kù)、代碼生成、數(shù)據(jù)服務(wù)等功能。
　　在工具的具體實(shí)現(xiàn)階段，論文介紹了整體自動(dòng)化測(cè)試框架的選擇，描述了需求中提到的各個(gè)模塊的設(shè)計(jì)與開發(fā)，著重描寫了測(cè)試公共接口庫(kù)模塊所使用的技術(shù)特點(diǎn)、通訊機(jī)制以及錯(cuò)誤