基于DSL的浸沒(méi)式光刻機(jī)浸沒(méi)系統(tǒng)狀態(tài)控制的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn).pdf

1、浸沒(méi)式光刻機(jī)浸沒(méi)系統(tǒng)包含水處理系統(tǒng)(PWS)、注液系統(tǒng)(HCWS)、注氣系統(tǒng)(CAS)、氣液回收單元(HAWE)、溫控模塊(TCM)及位姿調(diào)節(jié)分系統(tǒng)等各分系統(tǒng)，分別涉及氣液純化、流體、溫控等多個(gè)領(lǐng)域，運(yùn)行時(shí)序復(fù)雜，控制流程差異大，本文涉及的總控通訊模塊(MCM)負(fù)責(zé)各系統(tǒng)的協(xié)調(diào)控制，實(shí)現(xiàn)參量監(jiān)測(cè)與設(shè)定，接口通訊，邏輯控制，數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，人機(jī)交互等功能。
　　本文旨在對(duì)浸沒(méi)式光刻機(jī)中浸沒(méi)系統(tǒng)控制模塊在領(lǐng)域?qū)＜液蛙浖绦騿T之間建立一套領(lǐng)域

2、特定語(yǔ)言(DSL)，以便浸沒(méi)系統(tǒng)中流體、氣液純化、溫控領(lǐng)域?qū)＜遗c總控軟件人員的溝通與流程設(shè)計(jì)。針對(duì)當(dāng)前浸沒(méi)系統(tǒng)總控與各分系統(tǒng)間的邏輯控制及自動(dòng)化要求，開(kāi)展如下工作。
　　1.介紹課題研究背景，分析浸沒(méi)分系統(tǒng)組成及基本原理，闡述MCM總控通訊系統(tǒng)整體方案，提出課題研究?jī)?nèi)容。
　　2.設(shè)計(jì)MCM總控通訊系統(tǒng)硬件平臺(tái)，搭建邏輯架構(gòu)，對(duì)關(guān)鍵元器件選型分析，完成模型設(shè)計(jì)與實(shí)物組裝。
　　3.基于DSL進(jìn)行MCM控制系統(tǒng)軟件分析并

3、進(jìn)行設(shè)計(jì)，包括浸沒(méi)系統(tǒng)中各系統(tǒng)執(zhí)行過(guò)程，狀態(tài)切換，事件觸發(fā)，系統(tǒng)數(shù)據(jù)等內(nèi)容。采用服務(wù)器/客戶端一體化方案，明確通訊機(jī)制的實(shí)現(xiàn)方式。
　　4.基于DSL狀態(tài)控制語(yǔ)言設(shè)計(jì)，包括數(shù)據(jù)交互的XML和浸沒(méi)式光刻機(jī)浸沒(méi)系統(tǒng)控制流程專用DSL。建立適用的邏輯控制及系統(tǒng)數(shù)據(jù)DSL文本，通過(guò)相應(yīng)詞法及語(yǔ)法規(guī)則分析，生成抽象語(yǔ)法樹(shù)，并組裝語(yǔ)義模型，供目標(biāo)操作及代碼生成。
　　5.測(cè)試系統(tǒng)功能，實(shí)現(xiàn)浸沒(méi)系統(tǒng)協(xié)調(diào)控制各項(xiàng)功能，驗(yàn)證數(shù)據(jù)交互XML與邏