貼片機視覺系統(tǒng)校正技術(shù)研究.pdf

1、高精度貼片機是電子生產(chǎn)工業(yè)的核心設(shè)備，是一個國家現(xiàn)代科技實力的標志。高精度貼片機結(jié)構(gòu)復(fù)雜，涉及電子、機械、軟件設(shè)計、光學(xué)等多個學(xué)科。其中貼片機的視覺系統(tǒng)是保障設(shè)備精度的核心部分。為提高貼片機視覺系統(tǒng)的測量精度，本文將介紹貼片機視覺系統(tǒng)校正的理論和方案。通過對視覺系統(tǒng)的補償，使貼片機的控制精度更高從而滿足新一代IC芯片的貼裝要求。本文圍繞貼片機視覺系統(tǒng)校正技術(shù)展開，主要研究內(nèi)容為：
　?。?）確定貼片機視覺系統(tǒng)校正所需要的參數(shù)，包括

2、視覺系統(tǒng)的內(nèi)部參數(shù)和視覺系統(tǒng)在貼片機上的機械參數(shù)。其中內(nèi)部參數(shù)影響攝像機成像過程使圖像中的像素點位置關(guān)系與實際點存在偏差，機械參數(shù)指的是視覺系統(tǒng)的安裝誤差,其導(dǎo)致計算得到的結(jié)果存在偏移量。為提高貼片機的生產(chǎn)精度需要獲得這兩部分參數(shù)。
　?。?）貼片機視覺系統(tǒng)的內(nèi)部參數(shù)可以由攝像機標定技術(shù)獲得。本文分析攝像機的線性和非線性模型得到校正攝像機所需要的參數(shù)。然后在 Tsai兩步法和張正友攝像機標定算法的基礎(chǔ)上提出優(yōu)化方法。通過解決非線性

3、最優(yōu)化問題獲得攝像機參數(shù)的精確解。
　?。?）圓形特征點檢測定位技術(shù)是一種圖像處理技術(shù)，其目的是為實現(xiàn)提取視覺系統(tǒng)機械參數(shù)提供位置基準。特征點檢測技術(shù)的一般流程為邊緣檢測， Hough變換，亞像素邊緣處理，最小二乘邊緣擬合最終獲得特征點的精確坐標。對于邊緣檢測本文比較基于邊緣追蹤和梯度檢測兩種邊緣檢測技術(shù)。在 Hough變換的原理下提出 RHT改進技術(shù)，提高算法速度。亞像素邊緣處理分別比較了基于插值、擬合、灰度矩多種實現(xiàn)方法，從而