ULSI片內(nèi)互連線寄生參數(shù)提取及應(yīng)用.pdf

1、該文以片內(nèi)互連線的關(guān)鍵長線為主要研究對象,側(cè)重寄生參數(shù)提取方法的研究,以及基于互連模型分析各種寄生效應(yīng).研究方法從精度和速度兩方面著手.文中研究內(nèi)容可分為兩部分:■互連線寄生參數(shù)提取部分1)基于ULSI片內(nèi)互連電感、電容參數(shù)提取問題的內(nèi)容和特點(diǎn),引入互連線不同相對幾何位置的寄生參數(shù)解析計(jì)算公式,得到一類快速寄生電感、電容定界方法.2)提出一類基于牛頓法BP網(wǎng)絡(luò)的互連線寄生電感提取方法;根據(jù)ULSI片上互連線曼哈頓結(jié)構(gòu)特點(diǎn),將ANN方法應(yīng)

2、用于多導(dǎo)體系統(tǒng)環(huán)電感分段計(jì)算,提出一種快速限制回路寄生電感提取方法.3)利用Csplat模擬互連線光刻,分析光刻中OPE對互連線版圖的影響,針對版圖畸變現(xiàn)象,采用二維BEM對電容參數(shù)作精確的實(shí)驗(yàn)性建模;定義有效長度概念,提出基于人工神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(ANN)實(shí)現(xiàn)多級導(dǎo)體系統(tǒng)寄生電容的快速提取方案.■基于互連線RC、RLC模型的時(shí)序分析1)針對ULSI設(shè)計(jì)中常用的晶體管驅(qū)動的單條全局互連線,以一階或二階模型近似其末端電壓,得到時(shí)延和過沖分析的簡化