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1、該論文以片內(nèi)互連的關(guān)鍵長(zhǎng)線為研究對(duì)象,所涉及的工作即是長(zhǎng)線結(jié)構(gòu)的電磁建模和參數(shù)提取.在分析互連電特性的同時(shí),側(cè)重方法的研究.研究方法從精度和速度兩方面著手,為適合EDA/CAD設(shè)計(jì)使用,更側(cè)重速度研究.主要研究工作及創(chuàng)新性如下:1.對(duì)片內(nèi)互連中大量出現(xiàn)的包含不連續(xù)性和三維立體特殊性結(jié)構(gòu)的典型代表進(jìn)行了研究.2.對(duì)集成電路中普遍存在的有耗多導(dǎo)體結(jié)構(gòu)的高速高精度參數(shù)提取進(jìn)行了研究與實(shí)現(xiàn).3針對(duì)有耗導(dǎo)體衰減常數(shù)難以精確提取的問題,將一種最新改
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