2023年全國碩士研究生考試考研英語一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁
已閱讀1頁，還剩55頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、隨著芯片特征尺寸越來越小,集成度越來越高,對芯片可靠性的研究變得日益重要,而其中電遷移現(xiàn)象是影響互連引線的主要可靠性問題。在0.13μm以上的制程中,主要采用鋁銅合金作為金屬導線的材料。選擇鋁的主要原因是因為它具有較低的電阻率,并具有和硅片制造工藝的兼容性,而且其成本相當?shù)土?。但其自身面著臨層出不窮的電遷移問題,所以研究鋁互連制造工藝,了解電遷移現(xiàn)象并從工藝制程過程中預防電遷移對提高微電子制造技術水平有積極意義,并可以獲得工業(yè)應用價值。

2、
　　 論文系統(tǒng)地研究了制造工藝對鋁互連電遷移可靠性的影響機制。詳細論述了鋁互連制造的工藝流程,結構特性,分析了鋁互連技術的制造特點,總結出制造工藝對其重要物理特性的影響。在已知的電遷移理論和經(jīng)驗結論基礎上,將工藝制造與電遷移關系定量地聯(lián)系了起來。通過實驗列舉并闡述了工藝參數(shù)變化對鋁互連線電遷移可靠性的影響。
　　 本論文的實驗部分主要從金屬薄膜沉積、刻蝕、清洗等制造工藝入手,分別闡述了各個工藝的制造特點以及工藝參數(shù)對鋁

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經(jīng)權益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論