微型電液動(dòng)力泵結(jié)構(gòu)與工藝優(yōu)化的實(shí)驗(yàn)研究.pdf

1、隨著電子元件的越來越小型化，電子技術(shù)的不斷發(fā)展和芯片集成度的不斷提高，導(dǎo)致電子器件單位面積上的熱流密度不斷增加。目前高熱流器件的熱流密度已達(dá)106W/m2的量級(jí)，將來會(huì)達(dá)到107W/m2的量級(jí)。傳統(tǒng)的風(fēng)冷技術(shù)已經(jīng)不能滿足高熱流電子器件的散熱要求，液冷技術(shù)成為高熱流電子器件的必然選擇。液體驅(qū)動(dòng)泵是液冷技術(shù)的關(guān)鍵部件，但其可靠性一直是制約液冷技術(shù)在航空航天等科學(xué)領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的主要因素，因此研制一種無運(yùn)動(dòng)部件的新型液體驅(qū)動(dòng)泵一直是航空航天高熱

2、流電子器件冷卻的迫切要求。電液動(dòng)力泵是一種無運(yùn)動(dòng)部件的新型液體驅(qū)動(dòng)泵，在航空航天領(lǐng)域有重要的應(yīng)用前景。 本文旨在探索電液動(dòng)力泵的優(yōu)化結(jié)構(gòu)參數(shù)與加工工藝。提出了電液動(dòng)力泵的電極結(jié)構(gòu)及參數(shù)：90對平板型銅電極，電極寬度為40μm，長度15mm，電極間距50μm，相鄰電極對之間的距離為100μm，設(shè)計(jì)了兩種流道高度100μm和200μm。對腐蝕方法和剝離方法兩種電極制作方法進(jìn)行了對比，選擇了剝離方法制作電極，實(shí)現(xiàn)了電液動(dòng)力泵的制作和封

3、裝。選擇了HFE7100為實(shí)驗(yàn)所用的液體，同時(shí)選用無水乙醇進(jìn)行參考對比。 為了提高實(shí)驗(yàn)液的純度，避免液體中存在的雜質(zhì)對電極及實(shí)驗(yàn)的影響，在原來實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上增加了實(shí)驗(yàn)液提純的環(huán)節(jié)。對電液動(dòng)力泵的性能進(jìn)行了靜壓實(shí)驗(yàn)，并進(jìn)行了電極的重復(fù)性實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：電液動(dòng)力泵產(chǎn)生的壓頭隨電壓變化的曲線近似服從二次方的關(guān)系。同等條件下100μm流道高度比200μm流道高度產(chǎn)生的壓頭大，產(chǎn)生的電流小。對于HFE7100，當(dāng)施加81V電壓時(shí)，流道高