微型電液動力泵結(jié)構(gòu)與工藝優(yōu)化的實驗研究.pdf

1、隨著電子元件的越來越小型化，電子技術(shù)的不斷發(fā)展和芯片集成度的不斷提高，導致電子器件單位面積上的熱流密度不斷增加。目前高熱流器件的熱流密度已達106W/m2的量級，將來會達到107W/m2的量級。傳統(tǒng)的風冷技術(shù)已經(jīng)不能滿足高熱流電子器件的散熱要求，液冷技術(shù)成為高熱流電子器件的必然選擇。液體驅(qū)動泵是液冷技術(shù)的關(guān)鍵部件，但其可靠性一直是制約液冷技術(shù)在航空航天等科學領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的主要因素，因此研制一種無運動部件的新型液體驅(qū)動泵一直是航空航天高熱

2、流電子器件冷卻的迫切要求。電液動力泵是一種無運動部件的新型液體驅(qū)動泵，在航空航天領(lǐng)域有重要的應(yīng)用前景。 本文旨在探索電液動力泵的優(yōu)化結(jié)構(gòu)參數(shù)與加工工藝。提出了電液動力泵的電極結(jié)構(gòu)及參數(shù)：90對平板型銅電極，電極寬度為40μm，長度15mm，電極間距50μm，相鄰電極對之間的距離為100μm，設(shè)計了兩種流道高度100μm和200μm。對腐蝕方法和剝離方法兩種電極制作方法進行了對比，選擇了剝離方法制作電極，實現(xiàn)了電液動力泵的制作和封

3、裝。選擇了HFE7100為實驗所用的液體，同時選用無水乙醇進行參考對比。 為了提高實驗液的純度，避免液體中存在的雜質(zhì)對電極及實驗的影響，在原來實驗的基礎(chǔ)上增加了實驗液提純的環(huán)節(jié)。對電液動力泵的性能進行了靜壓實驗，并進行了電極的重復性實驗。實驗結(jié)果表明：電液動力泵產(chǎn)生的壓頭隨電壓變化的曲線近似服從二次方的關(guān)系。同等條件下100μm流道高度比200μm流道高度產(chǎn)生的壓頭大，產(chǎn)生的電流小。對于HFE7100，當施加81V電壓時，流道高