內(nèi)置微型電液動力泵微通道冷卻系統(tǒng)的實驗研究.pdf

1、隨著電子元器件微型化和高性能比的進一步發(fā)展，下一代電子元器件的散熱將超過1000W/cm<'2>，現(xiàn)有的氣體冷卻技術已無法滿足如此之高的熱流密度的散熱需求，因此迫切需要發(fā)展液冷技術。 微型電液動力泵是一種可以直接置入液體流道內(nèi)輸送液體的裝置，由若干對電極組成，當電極通入直流電時，靜電場作用在電介質中的偶極子上，造成液體的流動，實現(xiàn)了泵的功能。這種微型泵沒有運動部件，且與流動通道整體集成，還可根據(jù)系統(tǒng)的要求實現(xiàn)泵的串／并聯(lián)組合。

2、 本文對微型電液動力泵進行了設計及實驗研究，利用MEMS技術完成了微型電液動力泵的制作，利用銅作為電極材料，電極寬度為40μm，長度15mm，電極間距50μm，相鄰電極對之間的距離為100μm，通道高度100μm。基板材料選用硅和玻璃，工作介質采用的是無水乙醇和3M公司的HFE7100。 通過實驗測試，當通電電壓為12V，工作介質為HFE7100時，可產(chǎn)生的最高壓強為1030Pa；工作介質為無水乙醇時，可產(chǎn)生的最高壓強為5