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1、基于部分相干成像理論和分?jǐn)?shù)傅立葉變換濾波等理論,我們提出了利用分?jǐn)?shù)傅立葉域?yàn)V波改善光刻成像質(zhì)量的波前工程新思想和新方法.分?jǐn)?shù)傅立葉變換濾波比常規(guī)傅立葉變換濾波增加了新的自由度,可以在非頻譜面的分?jǐn)?shù)傅立葉變換面上進(jìn)行濾波操作,大大提高了濾波片設(shè)計(jì)的靈活性,濾波片加放位置更方便、更合理,并可更有效地提高光刻圖形質(zhì)量.該論文初步建立了分?jǐn)?shù)傅立葉域?yàn)V波改善部分相干成像質(zhì)量的理論、方法和濾波器優(yōu)化設(shè)計(jì)算法.利用自編軟件對(duì)光刻成像分?jǐn)?shù)域?yàn)V波過(guò)程進(jìn)行
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