金屬薄膜超透鏡光刻成像質(zhì)量的研究.pdf

1、近幾年來,克服衍射極限的超透鏡光刻技術(shù)得到學(xué)術(shù)界的廣泛關(guān)注,超透鏡在生物醫(yī)學(xué)成像,光學(xué)光刻以及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力。本文主要提到的表面等離子體納米光刻技術(shù),是建立于表面等離子體激元理論基礎(chǔ)之上的近場光刻技術(shù),該技術(shù)提高了近場光刻的成像分辨率。本文以超透鏡近場光刻技術(shù)為主,分別從理論和COMSOL模擬兩方面,來對超透鏡光刻技術(shù)進(jìn)行探索及分析,提出合理的提高分辨率的光學(xué)光刻的方法。
　　本文主要工作如下:
　　1.主

2、要研究加入反射層的單層銀膜超透鏡系統(tǒng)。通過成像理論和COMSOL軟件模擬,分析了在單層銀膜超透鏡系統(tǒng)中加入反射層后,使得成像質(zhì)量得到改善的原因。接下來是對加入反射層的單層銀膜超透鏡系統(tǒng)進(jìn)行優(yōu)化,并且分析了一些因素對該模型成像的影響。主要分析的因素有,反射層厚度、光刻膠厚度、入射光偏振態(tài)以及入射光波長。由于反射效應(yīng),成像圖像對比度會(huì)顯著提高,最終得到對比度0.953的圖像。
　　2.設(shè)計(jì)了一種雙層交錯(cuò)結(jié)構(gòu)的超透鏡,將其加入到帶有反射