數(shù)字散斑相關(guān)技術(shù)在鼓膜測(cè)試中的應(yīng)用.pdf

1、薄膜力學(xué)性能是當(dāng)今MEMS技術(shù)中一個(gè)很重要的參數(shù)，對(duì)于微結(jié)構(gòu)器件的研究和應(yīng)用有很大的影響。半個(gè)多世紀(jì)以來(lái)，鼓膜實(shí)驗(yàn)(Bulge test)測(cè)試技術(shù)被廣泛地運(yùn)用于薄膜的力學(xué)性能測(cè)試中。論文期間，本人用數(shù)字散斑相關(guān)方法(DSCM)對(duì)傳統(tǒng)的鼓膜實(shí)驗(yàn)進(jìn)行了改進(jìn)，簡(jiǎn)化了實(shí)驗(yàn)條件和環(huán)境，并完成了一系列的驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)。 論文首先對(duì)數(shù)字散斑相關(guān)方法和薄膜力學(xué)性能測(cè)試技術(shù)分別進(jìn)行文獻(xiàn)調(diào)研，了解這兩種方法的當(dāng)今的運(yùn)用與發(fā)展情況。然后根據(jù)他們各自的特點(diǎn)與

2、長(zhǎng)處，把這兩種方法結(jié)合起來(lái)。設(shè)計(jì)在薄膜中心制作一個(gè)標(biāo)志點(diǎn)，并在加載過(guò)程中，通過(guò)長(zhǎng)距離顯微鏡從側(cè)面觀測(cè)標(biāo)志點(diǎn)的變化來(lái)測(cè)出薄膜中心的撓度(也就是離面位移)。目的在于更有效方便地完成鼓膜實(shí)驗(yàn)，簡(jiǎn)化傳統(tǒng)方法的實(shí)驗(yàn)條件。 期間，先設(shè)計(jì)了相關(guān)的驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)，證明了該實(shí)驗(yàn)方法是可以從側(cè)面測(cè)定帶標(biāo)志點(diǎn)物體的離面位移變化。然后，設(shè)計(jì)并完成了0.2mm黃銅薄板的鼓膜實(shí)驗(yàn)，包括實(shí)驗(yàn)平臺(tái)的設(shè)計(jì)制作，微型壓力傳感器的設(shè)計(jì)制作。實(shí)驗(yàn)結(jié)果雖然不是十分理想，但整個(gè)