顯微數(shù)字散斑技術研究與應用.pdf

1、隨著微電子、表面工程、生物和醫(yī)學材料的高速發(fā)展，應用和開發(fā)的結構和器件的特征尺寸越來越小，正確評價和研究這些結構和器件的熱、力學性能需要借助基本的檢測技術和檢測平臺，本文將數(shù)字散斑相關技術和顯微技術相結合，進行顯微數(shù)字散斑相關方法的研究。本文主要內容如下： 1、提出雙CCD應變測量方法，并建立雙長距CCD應變測量系統(tǒng)，使數(shù)字相關應變測量靈敏度由二十微應變提高到一微應變，為工程材料的力學性能測試提供了非接觸、大變形、高精度和數(shù)字化

2、的測量新技術。 2、詳細討論了數(shù)字散斑相關測量中噪聲對相關測量精度的影響，將CCD噪聲分為時間噪聲和空間噪聲，對噪聲規(guī)律進行統(tǒng)計，并在此基礎上提出時間平均法消除數(shù)字噪聲的方法。 3、用環(huán)形LED冷光源代替?zhèn)鹘y(tǒng)斜入射光源，消除了附加熱變形對顯微數(shù)字相關測量的影響，大大提高顯微相關測量精度，并將環(huán)形燈照明與傳統(tǒng)斜入射進行比較，分析了環(huán)形燈照明場的光強分布及其對散斑灰度及形貌的影響。 4、設計適合顯微成像條件下使用的自