電子散斑干涉測(cè)量技術(shù)在微結(jié)構(gòu)測(cè)試中的應(yīng)用研究.pdf

1、測(cè)試在研究和生產(chǎn)領(lǐng)域扮演著十分重要的角色。目前微結(jié)構(gòu)的眾多測(cè)試方法大多針對(duì)光學(xué)平滑表面，這給微結(jié)構(gòu)的科學(xué)研究和生產(chǎn)測(cè)試等應(yīng)用都帶來了很大限制。 電子散斑干涉技術(shù)擁有光學(xué)測(cè)量技術(shù)的高精度、非接觸、全場(chǎng)測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)，又具有電子技術(shù)的高速度、自動(dòng)化、操作簡(jiǎn)便等特長(zhǎng)，還能對(duì)具有散射表面的物體進(jìn)行變形測(cè)量；因此近年來深受各國(guó)工程界和研究者的青睞。目前，研究者們又不斷努力將其應(yīng)用于微觀測(cè)試領(lǐng)域，以達(dá)到擴(kuò)充微觀測(cè)試方法的目的。 本文在充

2、分調(diào)研的基礎(chǔ)上，設(shè)計(jì)并建立了結(jié)合相移技術(shù)的電子散斑干涉顯微測(cè)試系統(tǒng)，通過反射率較高表面的形貌測(cè)量對(duì)系統(tǒng)的性能進(jìn)行驗(yàn)證，并對(duì)散射表面的變形進(jìn)行了初步的測(cè)試研究。本文的主要工作包括以下幾個(gè)方面： 1.對(duì)國(guó)內(nèi)外微結(jié)構(gòu)測(cè)試方法和散斑測(cè)試技術(shù)做出充分的調(diào)研，并分析了電子散斑干涉技術(shù)在微結(jié)構(gòu)幾何量測(cè)量應(yīng)用中的特點(diǎn)； 2.設(shè)計(jì)并組建了基于Linnik顯微干涉結(jié)構(gòu)的ESPI相移顯微測(cè)試系統(tǒng)； 3.將表面反射率較高的微結(jié)構(gòu)作為測(cè)量