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文檔簡介
1、該論文主要研究了數(shù)字散斑干涉技術(shù)(DIGITALSPECKLEPATTERNINTERFEROMETER,后文簡稱DSPI).基于DSPI原理,論文吸收統(tǒng)計(jì)分析思想,相對(duì)完善了該技術(shù)的實(shí)用技術(shù)體系,設(shè)計(jì)了一種DSPI應(yīng)用光路,該光路可用于粗糙表面離面位移和形變檢測,并依托此光路設(shè)計(jì)了一套多功能激光光電實(shí)驗(yàn)系統(tǒng).該多功能激光光電實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)以泰曼-格林干涉(Twyman-Green)光路作核心,包括先進(jìn)的數(shù)字波面干涉技術(shù)和一種基于空間干涉原理
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