微型ICP激發(fā)源微電路組件的參數(shù)優(yōu)化研究.pdf

1、原子發(fā)射光譜儀主要用于成分檢測(cè)。激發(fā)源是其重要部件。電感耦合等離子體（ICP）激發(fā)源因諸多優(yōu)點(diǎn)得到廣泛應(yīng)用。激發(fā)源微型化對(duì)研發(fā)微型光譜儀至關(guān)重要。新型微型ICP激發(fā)源功耗、氬氣消耗量、體積、重量?jī)H為常壓普通ICP激發(fā)源的數(shù)百分之一。因此，研究激發(fā)源參數(shù)優(yōu)化具有較重要的應(yīng)用前景。
　　 本文對(duì)各種原子發(fā)射光譜儀常用的火花、電弧、輝光等離子體、ICP等激發(fā)源的裝置和原理做了綜述。介紹了國(guó)內(nèi)外微型ICP激發(fā)源的研究及應(yīng)用現(xiàn)狀。重點(diǎn)圍繞

2、微型ICP激發(fā)源的參數(shù)優(yōu)化開展了一些研究，設(shè)計(jì)加工了48種不同參數(shù)的微電路組件以及配套的等離子體放電室。針對(duì)微電路組件平面螺旋線圈和交指電容的匝數(shù)、匝寬、匝間距等微結(jié)構(gòu)參數(shù)與最小啟燃功率的關(guān)系進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試。在射頻13.56MHz，氬氣氣壓100Pa條件下，實(shí)驗(yàn)得出微電路組件易于啟燃的最佳優(yōu)化參數(shù)為：平面螺旋線圈外徑為10mm、匝數(shù)為3匝、匝間距為300μm、匝寬為400μm；諧振、匹配交指電容交指線長(zhǎng)為15mm、指間間距和交指線寬為2