微型ICP激發(fā)源進(jìn)樣器設(shè)計及激發(fā)能力測試研究.pdf

1、光譜儀具有檢測精度高、測量范圍大、分析速度快、簡單操作等優(yōu)點，廣泛應(yīng)用在冶金、醫(yī)藥、化工、食品檢測、環(huán)境保護(hù)、軍事偵察、宇宙遙測，水文資源探測等領(lǐng)域。
　　 微型化、集成化是光譜儀器發(fā)展的重要趨勢之一。激發(fā)源作為光譜儀的重要部件，其微型化對研發(fā)微型光譜儀器至關(guān)重要。
　　 本文綜述了國內(nèi)外微型等離子體激發(fā)源的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢，簡要闡述了其的結(jié)構(gòu)和原理。自行設(shè)計了采用精密真空氣閥的三通進(jìn)樣裝置，首次采用此進(jìn)樣裝置既可通過

2、用精密開關(guān)閥和流量計準(zhǔn)確控制被測樣品的進(jìn)入量，又可以使載氣和被測氣體在混合室充分混合，使其達(dá)到充分激發(fā)；利用WGD-6 型光學(xué)多道光譜儀分析了微型ICP 激發(fā)源的激發(fā)性能，首次觀測到了300~900nm 范圍內(nèi)的氬、氮、氧、甲烷譜線，其中氬氣譜線波長主要集中在690~860nm 范圍內(nèi)，且全部為氬原子譜線，空氣譜線波長主要集中在316~424nm 范圍內(nèi)，甲烷譜線波長為431nm，證明了基于PCB 鍍金技術(shù)的微型ICP 激發(fā)源對實驗氣體