低氣壓微型ICP激發(fā)源激發(fā)檢測(cè)氣體樣品特性研究.pdf

1、發(fā)射光譜儀是成分檢測(cè)分析的重要儀器之一，而激發(fā)源是發(fā)射光譜儀檢測(cè)分析的重要組成部分。目前激發(fā)源微型化成為光譜儀微型化的關(guān)鍵所在。微型電感耦合等離子體（ICP,Inductively Coupled Plasma）激發(fā)源是一種處于研究階段的新型低氣壓放電激發(fā)源，與傳統(tǒng)的常壓ICP激發(fā)源相比，其功耗、氬氣消耗量、體積、重量均大幅度降低，且成本低、便于批量生產(chǎn)。微型電感耦合等離子體激發(fā)源有望成為新的光譜儀激發(fā)源。關(guān)于微型ICP激發(fā)源性能測(cè)試以

2、及仿真理論的研究報(bào)道較少，對(duì)其激發(fā)檢測(cè)氣體樣品特性進(jìn)行研究是有意義的。
　　本工作在搭建微型ICP激發(fā)源測(cè)試系統(tǒng)平臺(tái)的基礎(chǔ)上，激發(fā)測(cè)試氣體樣品，主要包括氬氣、氬甲烷、乙炔、氟利昂等樣品，對(duì)激發(fā)結(jié)果進(jìn)行了分析。根據(jù)激發(fā)樣品的測(cè)試數(shù)據(jù)計(jì)算了等離子體阻抗參數(shù)，評(píng)價(jià)微型激發(fā)源的激發(fā)性能及適用范圍。其次按照微型ICP激發(fā)源的原理以及激發(fā)源放電室的結(jié)構(gòu)等依據(jù)建立了理論模型，探索微型 ICP等離子體激發(fā)源用于光譜儀的實(shí)際激發(fā)性能和適合分析的樣品