改進(jìn)型水基Pechini方法制備ZnO薄膜及其性質(zhì)研究.pdf

1、氧化鋅薄膜是一種新型的寬禁帶半導(dǎo)體材料。由于其很多有趣的性質(zhì)，例如，可見光透明、寬禁帶（Eg=3.3 eV）、優(yōu)良的壓電性質(zhì)、六角纖鋅礦結(jié)構(gòu)、n型半導(dǎo)體等，使得它們在很多領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用，例如，透明導(dǎo)體、太陽能電池、表面聲波器件、紫外激光、稀磁半導(dǎo)體材料等。 氧化鋅薄膜可以使用多種方法來制備，常用的有磁控濺射、金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積(MOCVD)、脈沖激光沉積(PLD)、溶膠凝膠(sol-gel)等。溶膠凝膠方法因其成本低廉、

2、操作簡單、燒結(jié)溫度低等優(yōu)點(diǎn)在薄膜制備領(lǐng)域具有很大的吸引力。而作為溶膠凝膠方法一種的Pechini方法則以其更為低廉的成本和低毒性等優(yōu)勢受到許多研究者的青睞。本文使用改進(jìn)型水基Pechini方法制備了氧化鋅薄膜。除了使用去離子水作為溶劑外，在改進(jìn)后的制備方法中我們還引入了酒精。實(shí)驗表明，酒精的加入大大改善了前驅(qū)體溶液的性質(zhì)，克服了純水基前驅(qū)體溶液制備氧化鋅薄膜過程中所遇到的許多困難，例如，溶膠浸潤性不佳、薄膜過于疏松、無法達(dá)到有效厚度等。