已閱讀1頁，還剩80頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀
版權(quán)說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內(nèi)容提供方，若內(nèi)容存在侵權(quán)，請進行舉報或認(rèn)領(lǐng)
文檔簡介
1、本文提出了一種基于可變衍射光柵的微加速度傳感器，從航空航天系統(tǒng)對加速度計高精度、小型化、高可靠性等方面要求出發(fā)設(shè)計，文中提出的微加速度計以可變衍射光柵作為傳感器件，本文從原理出發(fā)進行其相位差運算和衍射光強運算，得到其對位移和加速度的高靈敏性。同時介紹了加速度傳感質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)的設(shè)計，利用ANSYS有限元分析軟件仿真驗證，得到體硅結(jié)構(gòu)的質(zhì)量塊具有大的動態(tài)范圍，同時進一步結(jié)構(gòu)優(yōu)化，使其在具有高的靈敏度條件下可達到較高的動態(tài)范圍。質(zhì)量塊的加工工藝
2、主要采用濕法加工，加工工藝較為成熟，且設(shè)備要求不高?？紤]系統(tǒng)的集成性，文中探討了光源與光電探測器的集成封裝，光源使用VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser)芯片，詳細(xì)的介紹了封裝工藝，該工藝主要參照LED的封裝工藝。最后描述了位移實驗和1g靜態(tài)翻轉(zhuǎn)實驗的結(jié)果，從實驗的結(jié)果可知，基于可變衍射光光柵微加速度傳感器具有高的靈敏度，可達到約10-5-10-6g，動態(tài)范圍可設(shè)計成±20-50g，具
溫馨提示
- 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
- 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權(quán)益歸上傳用戶所有。
- 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網(wǎng)頁內(nèi)容里面會有圖紙預(yù)覽，若沒有圖紙預(yù)覽就沒有圖紙。
- 4. 未經(jīng)權(quán)益所有人同意不得將文件中的內(nèi)容挪作商業(yè)或盈利用途。
- 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內(nèi)容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內(nèi)容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內(nèi)容負(fù)責(zé)。
- 6. 下載文件中如有侵權(quán)或不適當(dāng)內(nèi)容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
- 7. 本站不保證下載資源的準(zhǔn)確性、安全性和完整性, 同時也不承擔(dān)用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。
最新文檔
- 新型光纖光柵加速度傳感器的研究.pdf
- 光纖光柵加速度傳感器的研發(fā)與應(yīng)用.pdf
- 加速度傳感器論文速度傳感器論文
- 光纖Bragg光柵加速度傳感器動態(tài)特性的研究.pdf
- 基于復(fù)合材料的光纖光柵加速度傳感器的研究.pdf
- 富士加速度傳感器
- 傳感器論文-壓電加速度傳感器
- 基于加速度傳感器的手勢識別.pdf
- 寬量程微加速度傳感器的研制.pdf
- 加速度傳感器課程論文
- 應(yīng)變片加速度傳感器
- 微加速度傳感器的結(jié)構(gòu)特性與仿真研究.pdf
- 雙光纖光柵推挽式加速度傳感器設(shè)計與研究.pdf
- 微加速度傳感器自檢測技術(shù)研究.pdf
- 懸臂梁式光纖光柵加速度傳感器的特性研究.pdf
- sdi電容加速度傳感器
- 加速度傳感器和位移
- 3軸加速度傳感器
- 基于光纖光柵的加速度傳感技術(shù).pdf
- 開環(huán)加速度傳感器ASIC的研究.pdf
評論
0/150
提交評論