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文檔簡介
1、加速度傳感器在微系統(tǒng)領(lǐng)域里占有非常重要的地位，論文分析了開環(huán)電容式混合集成加速度傳感器的基本工作原理，利用上華提供0.5μmDPDM混合信號工藝參數(shù)完成了電路和版圖的設(shè)計。
開環(huán)電容式加速度傳感器接口電路采用了斬波穩(wěn)定技術(shù)，由時序發(fā)生器、偏置電壓/電流源、低輸入電容緩沖器、前級放大器、相關(guān)雙取樣、取樣解調(diào)、后級放大和濾波這些部分組成。論文中對各模塊的在整體電路中的作用和性能參數(shù)給出了詳細的介紹。同時給出了各模塊電路的設(shè)計方法和
2、電路圖，利用上華提供的工藝參數(shù)對整體電路進行了模擬并給出主要的性能指標如下：電源為5V單電源、量程為±40g、靈敏度為50mV/g、噪聲達到100μg/Hz、輸出平衡電位為2.5V。其中電路的靈敏度和輸出平衡電位都是可調(diào)的，這樣可以明顯地提高成品率和應用范圍。
根據(jù)版圖設(shè)計規(guī)則和一些版圖設(shè)計技巧完成了整體版圖的設(shè)計。重點地分析一些版圖中要注意的問題并且給出了解決措施。為了提供比較和對差分電容結(jié)構(gòu)的微小電容偏差進行補償，共設(shè)計三
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