干涉法球面面形絕對檢測技術研究.pdf

1、隨著光學行業(yè)以及相關技術領域的發(fā)展，光學表面面形的檢測精度需求也越來越高。球面絕對檢測方法可以去除參考面面形誤差的影響，從而提高了被檢面的檢測精度。
　　 本文以三位置球面面形絕對檢測原理為中心，討論分析了與其相關的檢測方法，包括兩位置球面面形檢測和五位置球面面形絕對檢測。基于Zygo數字波面干涉儀，設計了針對三位置球面面形檢測方法的高精度旋轉控制的6自由度實驗機構，并分析了機構的在各位置的調整誤差，從而進一步對實驗方法與操作步

2、驟提出了細致的要求。
　　 設計并且分析了與三位置球面面形絕對檢測方法相關的幾個實驗：(1)三位置球面面形絕對檢測重復性實驗；(2)三位置球面面形絕對檢測與兩位置球面面形檢測的檢測精度對比實驗；(3)三位置球面面形絕對檢測檢測精度實驗；(4)五位置球面面形絕對檢測檢測精度實驗。在實驗分析中，著重討論了三位置檢測貓眼位置的參考鏡Zernike2θ項誤差。
　　 對于高精度的面形檢測，誤差是影響最終測試結果的重要因素。因此本