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文檔簡介
1、光學(xué)制造技術(shù)、精密機(jī)械加工、計(jì)算機(jī)輔助設(shè)計(jì)及裝調(diào)技術(shù)的發(fā)展,使非球面的制造和應(yīng)用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和檢測上的困難,制約了非球面在光學(xué)系統(tǒng)中的廣泛應(yīng)用。 本文從淺度拋物面非零位干涉檢測角度出發(fā),首先通過計(jì)算,確定視頻探測器的最大分辨率,得到ZYGO干涉儀直接檢測非球面的適用范圍。然后通過編制Zernike多項(xiàng)式系數(shù)計(jì)算程序,并輸入所測非球面的數(shù)學(xué)模型,計(jì)算理想波像差函數(shù)。通過ZYGO干涉儀直接檢測淺度非球面,對(duì)獲
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