基于相移剪切干涉的光學非球面測試技術(shù)研究.pdf

1、相移式橫向剪切測量技術(shù)是一種實時提取干涉圖信息、直接測量波面相位分布的光學測量方法，采用該技術(shù)使光學非球面元件的面形測試精度大大提高，并且實現(xiàn)了波面的實時顯示。 在實際應(yīng)用中，相移式橫向剪切干涉測量精度受到相移的準確性、干涉光場的正弦性、探測器響應(yīng)的非線性、相移算法選擇的合理性、剪切量提取的準確性等因素的影響。本文對相移式橫向剪切干涉測量中相移器的標定誤差、相移算法進行了系統(tǒng)的分析和研究；對CCD探測器的非線性影響、剪切量的檢測

2、方法及系統(tǒng)誤差進行了分析，得出了一些有益的結(jié)論。本文研究的主要內(nèi)容和結(jié)果如下： 相移器的標定精度在很大程度上決定了相移干涉儀的測量精度。本文提出采用小波數(shù)字濾波與傅立葉變換相結(jié)合的方法對相移器進行標定。通過計算機模擬仿真，證明了該標定方法的正確性和有效性。 在應(yīng)用相移技術(shù)進行相位測量時，相移器的相移誤差直接影響相位的測量精度。本文將快速傅立葉變換技術(shù)和四步相移技術(shù)相結(jié)合，對相位進行補償，并推出相位誤差補償公式。通過計算機