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文檔簡介
1、近年來,隨著激光技術、電子技術和計算機技術的發(fā)展,發(fā)明了一種實時提取干涉圖信息、直接測量波面位相分布的波面位相探測新技術,使光學非球面元件的面形測試精度大大提高,并且實現(xiàn)了波面的實時顯示.該文研制了一套測量非球面面形的相移剪切干涉裝置,面形檢測精度:0.1μm.文中討論了測量裝置的整體方案,運用相移剪切干涉測試技術,對相移橫向剪切干涉圖進行了實時采集及處理,得到被測波面的一維波差分布圖.用UML面向對象建模語言為非球面測試軟件建立了數(shù)學
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