非球面檢測平臺伺服控制技術(shù)研究.pdf

1、非球面元件具有優(yōu)越于球面的光學(xué)特性，使其在光學(xué)設(shè)計(jì)中得到越來越廣泛的應(yīng)用。非球面元件相對球面元件在面形加工與檢測評價(jià)方面都提出更高的要求。得到高精度的成品，高效的伺服控制平臺是提高檢測精確性的必要條件之一。本文以非球面檢測平臺的運(yùn)動伺服控制系統(tǒng)為工程背景，研究檢測平臺的組成及工作原理，并設(shè)計(jì)基于數(shù)字信號處理器(DSP)的嵌入式數(shù)字控制系統(tǒng)。 控制系統(tǒng)采用積分分離與帶死區(qū)相結(jié)合的PID控制算法及復(fù)合回路控制方案。在復(fù)合回路中，半閉

2、環(huán)回路反饋信號通過采集軸角編碼模塊獲取電機(jī)的轉(zhuǎn)速、轉(zhuǎn)角信息，全閉環(huán)回路反饋信號通過采集線性光柵尺編碼信號獲得平臺位置信息。通過數(shù)學(xué)建模仿真與實(shí)驗(yàn)測試，系統(tǒng)達(dá)到較好地位置控制效果。 平臺設(shè)計(jì)上，直線軸選擇交流伺服驅(qū)動，該機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)緊湊、可靠性高、可維護(hù)性好；平臺回轉(zhuǎn)軸，采用直流伺服驅(qū)動，該機(jī)構(gòu)控制方便，加載不減速，啟動扭矩大，能夠很好的滿足控制要求。 同時(shí)，本文就多軸伺服控制卡硬件選取與設(shè)計(jì)和軟件編程與調(diào)試等問題作了進(jìn)一步的