基于子孔徑拼接的非球面檢測方法研究.pdf

1、隨著光學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展，非球面光學(xué)元件以其優(yōu)越的光學(xué)特性被應(yīng)用于多個領(lǐng)域，然而非球面光學(xué)元件在檢測方面的困難制約了其廣泛應(yīng)用。子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)，因具有拓展干涉儀的橫向和縱向動態(tài)范圍，能夠?qū)Ψ乔蛎孢M行低成本、高分辨率檢測的優(yōu)點而成為一個重要的研究課題。本文針對子孔徑拼接干涉檢測非球面開展了以下研究。
　　首先介紹了子孔徑拼接干涉檢測的基本原理，對各種子孔徑形狀和各種拼接模式進行了比較，在此基礎(chǔ)上介紹了拼接算法的基本原理，包含兩

2、兩拼接算法、全局誤差均化算法和局部誤差均化算法。其次完成了非球面子孔徑拼接檢測系統(tǒng)總體方案的設(shè)計，設(shè)計了包含非球面合成檢測機構(gòu)、大口徑近平面非球面檢測機構(gòu)和小口徑深度凹非球面檢測機構(gòu)的三種檢測機構(gòu)，進而設(shè)計了非球面檢測流程，解決了子孔徑劃分模式的優(yōu)化和檢測機構(gòu)的運動規(guī)劃問題。討論了非球面檢測系統(tǒng)的誤差修正，分析了標準球面波前誤差、機構(gòu)運動調(diào)整誤差和成像畸變誤差對非球面檢測的影響并給出了修正方法。然后研究了子孔徑拼接檢測算法，對包括子孔徑