球面及柱面絕對(duì)測(cè)量技術(shù)研究.pdf

1、本文在回顧光學(xué)干涉測(cè)量的基礎(chǔ)上.介紹了作者在球面激光干涉儀上實(shí)現(xiàn)球面面形及柱面形的絕對(duì)測(cè)量方面所作的研究工作.重點(diǎn)介紹了:1.用三次及二次檢驗(yàn)法對(duì)球面光學(xué)零件面形的絕對(duì)檢驗(yàn)法原理、技術(shù)關(guān)鍵、實(shí)驗(yàn)結(jié)果和測(cè)量不確定度分析;2.采用三次對(duì)柱面光學(xué)零件面形的絕對(duì)檢驗(yàn)法原理、技術(shù)關(guān)鍵、實(shí)驗(yàn)結(jié)果和測(cè)量不確定度分析.球面面形的絕對(duì)檢驗(yàn)方法,采用了三次檢驗(yàn)法和二次檢驗(yàn)法.三次檢驗(yàn)法是在球面干涉儀測(cè)量的基礎(chǔ)上,通過(guò)常規(guī)測(cè)試、旋轉(zhuǎn)被測(cè)件180°測(cè)試、轉(zhuǎn)動(dòng)被

2、測(cè)件貓眼位置測(cè)試將三次測(cè)量結(jié)果進(jìn)行處理,分離出被測(cè)面形的絕對(duì)誤差.二次檢驗(yàn)法是三次檢驗(yàn)法的一種簡(jiǎn)化,適用于被測(cè)件面形旋轉(zhuǎn)對(duì)稱分布或精度要求不高的情況下,其測(cè)量是省略去了三次檢驗(yàn)法中的旋轉(zhuǎn)測(cè)量過(guò)程.柱面面形絕對(duì)檢驗(yàn)法采用三次檢驗(yàn)的柱面絕對(duì)檢驗(yàn)法,利用斐索干涉儀主機(jī),配以標(biāo)準(zhǔn)柱面透鏡,產(chǎn)生一柱面波與被測(cè)柱面鏡產(chǎn)生的柱面波干涉.進(jìn)行三次絕對(duì)干涉測(cè)量,即常規(guī)測(cè)試、被測(cè)柱面鏡旋轉(zhuǎn)180°測(cè)試及貓眼位置測(cè)試,將三幅干涉圖通過(guò)軟件進(jìn)行處理,消除裝置的