基于N位旋轉(zhuǎn)測量的光學(xué)平面絕對檢測技術(shù)研究.pdf

1、對于光學(xué)平面面形的高精度檢測，目前常用的方法是相對于參考平面的干涉測量，其檢測精度受到參考平面面形精度的制約，而絕對檢測方法能夠?qū)⒖计矫嬲`差從測量結(jié)果中分離出去，從而得到被測元件的絕對面形。本文主要以三面互檢法在平面絕對檢測中的應(yīng)用為研究方向。
　　首先介紹了一些常用三面互檢法的原理并分析了各自算法的優(yōu)缺點(diǎn)。為了獲得全口徑、全頻段的絕對面形，本文研究了一種基于N位旋轉(zhuǎn)測量的絕對檢測方法，在傳統(tǒng)三面互檢法的基礎(chǔ)上，增加一組N位旋轉(zhuǎn)

2、測量，利用奇偶函數(shù)理論獲取完整的面形信息。推導(dǎo)了理論公式，并進(jìn)行了計(jì)算機(jī)模擬仿真和誤差分析，從理論上證明了該方法的有效性;在4D干涉儀上完成了實(shí)驗(yàn)測量及數(shù)據(jù)分析，創(chuàng)新性地設(shè)計(jì)了兩組對比實(shí)驗(yàn)，從實(shí)踐上證明了該方法的可行性及準(zhǔn)確性。
　　在實(shí)現(xiàn)絕對檢測的基礎(chǔ)上，本文提出了一種評估干涉儀系統(tǒng)誤差對元件中頻PSD1影響的新方法，將通過絕對檢測方法得到的參考鏡實(shí)際面形數(shù)據(jù)運(yùn)用于干涉儀中，得到待測元件的絕對面形，將該結(jié)果與待測元件的相對檢測結(jié)