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文檔簡(jiǎn)介
1、全文共分九章.第一章到第三章由總到分的逐步簡(jiǎn)要介紹了超硬薄膜,C<,3>N<,4>超硬薄膜,直到TiN/C<,3>N<,4>超硬納米多層膜,重點(diǎn)敘述了各種超硬薄膜的制備,研究現(xiàn)狀和應(yīng)用.第四章介紹了該選題的目的和意義以及該文所做的主要工作.第五章介紹了實(shí)驗(yàn)材料和樣品制備等.第六章至第八章利用掃描電子顯微鏡(SEM),X射線衍射儀(XRD),X射線能量分散譜儀(EDS)對(duì)涂層的顯微組織,顯微結(jié)構(gòu),成分進(jìn)行了觀察和分析,較為系統(tǒng)地分析了不同
2、工藝參數(shù)下制備的涂層的微觀特征,提出了基底溫度和負(fù)偏壓影響涂層的生長(zhǎng)和性能:基底溫度和負(fù)偏壓比較高時(shí),涂層發(fā)生贗形生長(zhǎng),形成了Ti<,2>N/CN<,x>納米多層膜,每一層都在納米范圍,涂層薄而致密,硬度由于納米多層膜的超硬效應(yīng)而非常高,附著力卻由于大的壓應(yīng)力而偏低;而基底溫度,負(fù)偏壓較低時(shí),涂層的生長(zhǎng)方式納米微晶—無定形(Ti<,2>N微晶—CN<,x>無定形),涂層厚缺陷多,硬度不太高,附著力很好.得出了該制備方法中氮?dú)饬髁坎蛔?T
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