TiNi形狀記憶合金薄膜顯微結(jié)構(gòu)及相變行為研究.pdf

1、大連理工大學(xué)博士學(xué)位論文TiNi形狀記憶合金薄膜顯微結(jié)構(gòu)及相變行為研究姓名：劉曉鵬申請學(xué)位級別：博士專業(yè)：材料學(xué)指導(dǎo)教師：楊大智;曹名洲20010801大連理工大學(xué)博士學(xué)位論文4 ．T i N i 薄膜馬氏體小應(yīng)變變形時，內(nèi)部顯微結(jié)構(gòu)變化為( 0 1 1 ) I I 型相變孿晶去孿晶化和大量( 0 0 1 ) 形變復(fù)合孿晶形成過程；T i 。．N i 。。薄膜的最大可恢復(fù)應(yīng)變?yōu)? ．5 ％，但塑性應(yīng)變在總應(yīng)變大于4 ％后迅速增加。5 ．

2、隨預(yù)應(yīng)變量增大，T i N i 薄膜的第一次逆相變溫度升高，相變熱滯增大，馬氏體相變溫度降低，R 相變溫度無明顯變化。因此用T i N i 薄膜作微驅(qū)動器元件時，若利用R 相交，可以不考慮變形對微驅(qū)動器元件性能的影響，而利用馬氏體相變時，T i N i 薄膜的最大應(yīng)變應(yīng)控制在3 ％以下。6 ．不完全相變導(dǎo)致T i N i 薄膜第二次加熱出現(xiàn)雙逆相變，但第三次逆相變又重新恢復(fù)為單一逆相變轉(zhuǎn)變，因此對于T i N i 薄膜微驅(qū)動器元件來講，