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文檔簡介
1、本文在闡述振動式微機械陀螺基本原理的基礎上對陀螺的理想和非理想動力學模型進行了詳細的推導和分析,對解耦合和非解耦合、質量集中和質量分布等幾種模型進行了理論上的比較,總結和完善了該類微陀螺的動力學理論分析方法。在理論分析的同時,首先介紹了目前微機電系統(tǒng)(MEMS)及器件設計和仿真的常用軟件及其使用方法,然后采用ANSYS軟件對微陀螺機械耦合誤差進行建模仿真,主要包括質量分布模型、非對稱梁模型和非正交驅動模型。結論表明機械耦合誤差不可消除
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