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文檔簡介
1、本文運用微機電系統(tǒng)動力學理論對新型MEMS微機械振動式陀螺儀進行研究，探討了微陀螺儀的驅(qū)動方式和驅(qū)動結(jié)構，并研究了作為驅(qū)動力的靜電力的計算方法，進而對我們提出的一種新型雙級解耦微機械陀螺儀進行了動力學仿真及壓-電耦合分析研究。 首先，建立一對驅(qū)動梳齒分析模型，研究了影響靜電力變化的主要因素：交錯位移和外加電勢對靜電力的影響趨勢，分析了電勢分布，電磁密度分布等問題。在此基礎上繼續(xù)考察了多組梳齒之間的電勢影響以及靜電力的變化情況，以
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