解耦結構微機械陀螺特性研究.pdf

1、微機械陀螺是MEMS技術應用在慣性傳感器領域繼微機械加速度計之后的又一重大突破。陀螺技術不但在軍事、航空、航天領域發(fā)揮著巨大作用，而且在國民經濟的其它領域中也獲得應用，為國民經濟的發(fā)展發(fā)揮著重要作用。因此開發(fā)高性能、低成本的微機械陀螺對于國家來說不僅具有很強的戰(zhàn)略意義，同時也具有一定的經濟意義。
　　本課題的主要內容是微機械陀螺的特性研究：首先，對結構的頻響特性進行研究，介紹了模態(tài)匹配對陀螺性能的影響，重點進行了全對稱解耦結構陀螺

2、的模態(tài)仿真和陀螺結構頻響特性的測試，諧振頻率分布在2.3kHz～2.5kHz之間，實驗結果驗證對稱結構可使陀螺的兩模態(tài)達到預期的匹配程度，通過頻響特性曲線計算大氣壓下Q值為199，證實滑膜阻尼模型可以使陀螺實現(xiàn)大氣壓下工作；其次，對結構的解耦性能進行研究，理論建模分析了結構解耦性能，用有限元仿真軟件進行結構解耦特性的仿真，仿真結果為模態(tài)間交叉耦合小于0.2％，對結構的解耦效果進行測試，結構解耦達到預期效果；最后，對結構非線性進行研究，介