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1、該文對集成電路制造缺陷模型、由制造缺陷導(dǎo)致的軟、硬故障的作用機(jī)理、軟故障對電路可靠性和成品率的影響以及由制造缺陷導(dǎo)致的電路成品率的損失和可靠性下降之間的關(guān)系進(jìn)行了系統(tǒng)的研究.該文從互連線失效的電遷移模型出發(fā),考慮到缺陷存在時,由局域缺陷導(dǎo)致的開路軟故障對互連線可靠性的作用,給出了缺陷統(tǒng)計(jì)分布情況下新的互連線壽命模型.關(guān)鍵面積的計(jì)算是成品率估計(jì)的基礎(chǔ).該文基于多邊形膨脹收縮理論給出了一種新的軟、硬故障關(guān)鍵面積計(jì)算方法.集成電路的成品率和可
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