基于金屬基板的分立柵極FED器件研制.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、場發(fā)射顯示器(Field Emission Display，F(xiàn)ED)具有輕薄、功耗小、圖象質量好等優(yōu)越的顯示性能，被認為是下一代理想的平板顯示器。本論文首先介紹了FED的工作原理和器件結構，并回顧了FED的研究進展。為了滿足高分辨率、高亮度分立柵極結構FED的研究要求，本論文提出了一種新型的高分辨柵極基板的制作方法。我們采用不銹鋼作為柵極基板材料，采用薄膜和厚膜工藝在基板上制備出擊穿電壓大于1200 V的柵極絕緣層。使用光刻工藝和熱蒸發(fā)

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