光刻機粗精耦合及同步控制算法研究.pdf

1、光刻技術(shù)是大規(guī)模集成電路制造技術(shù)和微光學、微機械技術(shù)的先導和基礎(chǔ)；它決定了集成電路的集成度；而光刻機粗精耦合控制系統(tǒng)是實現(xiàn)精確定位的基礎(chǔ)。
　　本文針對粗精組合結(jié)構(gòu)的精密工作臺系統(tǒng)，以氣浮導軌支承、直線電機驅(qū)動的光刻機控制系統(tǒng)為研究對象，對粗動臺和微動臺高速高精度運動控制中的一些關(guān)鍵技術(shù)問題進行了研究。
　　本文要解決的是光刻機控制系統(tǒng)的理論性問題，要研究的主要內(nèi)容是在運動控制中，系統(tǒng)的動力學特性及振動、擾動等對系統(tǒng)跟蹤特性

2、的影響，建立精確的系統(tǒng)動力學模型，以保證系統(tǒng)的快速跟蹤特性。光刻機控制系統(tǒng)由工件臺及掩模臺兩套系統(tǒng)組成，分別為工件臺的被控對象及控制器和掩模臺的被控對象及控制器。此外，光刻裝置還包括一套同步控制系統(tǒng)以保證系統(tǒng)的協(xié)同工作特性。同步控制的目的是為了減小控制系統(tǒng)兩個平臺間的相對誤差，其基本方法是將微動臺與粗動臺的相對誤差傳給粗動臺，利用粗動臺控制系統(tǒng)進行補償。
　　光刻機精密伺服控制系統(tǒng)是一種高響應速度、高定位精度、無超調(diào)的伺服系統(tǒng)，本