PVCD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的研究.pdf

1、山東大學(xué)碩士學(xué)位論文PVCD等離子體化學(xué)氣相沉積設(shè)備的研究姓名：張穎穎申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：電力電子與電力傳動指導(dǎo)教師：安德祥2002.11.8山東大學(xué)碩士學(xué)位論文A B S T R A C TT h ep a p e rs t u d i e st h ep l a s m a ～e n h a n c e dc h e m i c a l v a p o rd e p o s i t i o n( P C V D ) e q u

2、i p m e n t ．T h ee q u i p m e n t iS t o p r o d u c e l o w —t e m p e r a t u r ep l a s m af r o m 1 0 w —p r e s s u r e g a s e s ：n i t r o g e n 、s i l i c o n a l k y l 、b o r o n a l k y l i n ar a d i o ～f r

3、e q u e n c y ( R F ) s t r o n gm a g n e t i cf i e l da n dS Ot od e p o s i tt h i nf i i m si n t h e s u r f a c eo ft h ec y l i n d e ro fe n g i n e ．T os t u d yt h e e q u i p m e n t ，t h ep a p e rd e s c r

4、i b e st h ed e v e l o p m e n ta n ds i g n i f i c a n c eo ft h ep l a s m a —e n h a n c e dc h e m i c a l v a p o r d e p o s i t i o n ( P C V D ) t e c h n i q u e f i r s t l y ．T h e n ，t h e p a p e rs t u d

5、i e s i t s f o u r m a j o r p a r t s ： v a c u u m s y s t e m ，h e a t i n g s y s t e m ，h i g h —f r e q u e n c yp o w e r —s o u r c ea n dc o n t r o l s y s t e m ．T h e p a p e r g i v e st h es t r u c t u r

6、a lp i c t u r eo f v a c u u m s y s t e m a n d h e a t i n gs y s t e mo f P C V De q u i p m e n t ，a n dd e s c r i b e st h e i rp r i n c i p l ee a s i l ya sw e l l ．T h e p a p e r m a i n l y d e a l s w i t h

7、 h i g h —f r e q u e n c y p o w e r —s o u r c e p a r t ．C o n v e n t i o n a l ，t h eP C V De q u i p m e n ta p p l i e sv a c u u mt u b e sa tt h ee x p e n s eo fe f f i c i e n c ya n dS i B e ．T om a k et h ee

8、 q u i p m e n ta d v a n c e d ，t h ep a p e rt r i e st os e l e c t t h em o d e r ne l e c t r i c i t ya n de l e c t r o n i C S d e v i c e st o m a k e u p t h eh i g h —f r e q u e n c yp o w e r —s o u r c e ．S

9、 ot h ec h a p t e ro fp o w e r —s o u r c ep r e s e n t sas p e c i a l 1 Y d e s i g n e dv o l t a g e ’。s o u r c e s e t i e s ——r e s o n a n t i n v e r t e ru s i n gf o u rM O S F E T ’S ．I nt h ec h a p t e r

10、o fc o n t r o ls y s t e m ，t h ep a p e rg i v e st h ed e t a i l e dd e s i g no f h a r d w a r ec i r c u i t so fa m u l t i —f u n c t i o n a ld a t aa c q u i S i t i o n b o a r da n d aD ／A c o n v e r s i o

11、n b o a r d ．A t l a s t ，p a p e r d e s c r i b e s t h e d e s i g n i n gp r o c e d u r e o f f u z z yc o n t r o l l e r a n d m a k e s a s i m p l yd e s c r i p t i o n o fs o f t w a r e ．T h e s t a b l e r u

12、 n n i n g o f t h e P C V D p r o t o t y p e h a s b e e n d o n e t os a t i s f y i n g l yt e s t i f yt h er e l i a b i l i t yo ft h eh a r d w a r e ，t h ev i a b i l i t yo ft h ef u z z yc o n t r o l l e r ．T