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文檔簡介
1、申請上海交通大學博士學位論文等離子體增強化學氣相沉積氮化硅薄膜制造過程質(zhì)量控制方法研究專業(yè):專業(yè):機械工程(工業(yè)工程)博士生:博士生:吳曉松導師:導師:褚學寧,苗瑞上海交通大學機械與動力工程學院上海交通大學機械與動力工程學院2015年6月Ph.D.DissertationSubmittedtoShanghaiJiaoTongUniversityRESEARCHONQUALITYCONTROLFMANUFACTURINGPROCESSOF
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