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文檔簡介
1、本文研究開發(fā)了以高頻等離子體作為熱源，用化學(xué)氣相沉積法合成高純石英玻璃的實(shí)驗(yàn)裝置。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，作為一種高溫純凈的熱源，高頻等離子體能夠提供一個(gè)氣氛潔凈的高溫反應(yīng)環(huán)境，在合成高純石英玻璃方面具有獨(dú)特優(yōu)勢。設(shè)計(jì)開發(fā)的高頻等離子體感應(yīng)設(shè)備的陽極電壓范圍為10.5～11.5KV，相應(yīng)的保護(hù)氣體氧氣流量為8～10Nm3/h，工作氧氣流量為3～5Nm3/h，火焰尾焰的溫度場穩(wěn)定。 液滴生長凝聚動(dòng)力學(xué)的分析表明，等離子體化學(xué)氣相沉積過程中的
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