雙工件臺換臺實現(xiàn)過程中宏動系統(tǒng)的擾動抑制研究.pdf

1、雙工件臺換臺是光刻機研制的核心，也是完成后續(xù)掃描光刻任務(wù)的前提，換臺過程要求高速度和高精度，因此擾動的存在極易導(dǎo)致?lián)Q臺的失敗。而雙工件臺宏動系統(tǒng)主要負責(zé)換臺的大行程直線運動，只有重復(fù)定位精度達到指標(biāo)要求的微米級，才能保證整個換臺過程的連續(xù)性。本文將宏動系統(tǒng)的運動歸結(jié)為X向單電機定位運動和Y向多電機同步運動，分別進行了擾動抑制技術(shù)的研究，在仿真基礎(chǔ)上設(shè)計了相應(yīng)的擾動補償器，然后在雙工件臺上換臺實現(xiàn)過程中進行了擾動抑制實驗，使系統(tǒng)的抗擾性得

2、到了很大提高。
　　首先，針對雙工件臺的結(jié)構(gòu)特點以及換臺的軌跡規(guī)劃，分析了換臺過程中宏動系統(tǒng)的運動情況，闡述了對宏動系統(tǒng)進行擾動分析的必要性，最后分析了換臺過程中宏動系統(tǒng)中可能存在的擾動。
　　其次，對X向單電機定位過程中的擾動進了分析與抑制。為此，從直線電機的原理出發(fā)，得出定位力擾動是該過程中的主要擾動，然后結(jié)合定位力產(chǎn)生的機理，在實驗平臺上進行了定位力擾動模型的辨識。隨后，在保證魯棒穩(wěn)定性的前提下，對擾動觀測器進行了設(shè)計

3、，對定位力擾動進行了補償，并進行了仿真驗證。
　　再次，對Y向多電機同步過程中的擾動進行了分析與抑制。結(jié)合現(xiàn)有的同步控制策略，介紹了基于擾動補償?shù)耐娇刂撇呗裕瑢_動觀測器應(yīng)用在補償回路，并進行了仿真驗證研究，然后針對X向的負載擾動，設(shè)計了負載擾動動態(tài)補償器，對上述同步控制策略進行了修正，并通過仿真驗證了其有效性。
　　最后，在雙工件臺上進行了宏動系統(tǒng)的擾動抑制實驗，然后在宏動系統(tǒng)抗擾性達到一定程度的基礎(chǔ)上，通過解決了換臺調(diào)