工件臺宏微控制算法研究.pdf

1、光刻技術(shù)是集成電路制造技術(shù)、微光學(xué)、微機械技術(shù)的基礎(chǔ)，它決定了大集成電路的集成度，光刻設(shè)備的宏微控制系統(tǒng)是實現(xiàn)精確定位的關(guān)鍵。
　　本文針對宏微結(jié)構(gòu)的工件臺系統(tǒng)，以直線電機和音圈電機驅(qū)動的光刻機控制系統(tǒng)為研究對象，對工件臺的高速度、高精度運動控制中的關(guān)鍵問題進行研究，主要研究的內(nèi)容包括：在只考慮系統(tǒng)中的耦合作用時，對工件臺的控制系統(tǒng)建立機械動力學(xué)模型，針對模型分析各通道受力情況，推導(dǎo)狀態(tài)空間表達式，選擇極點配置和LQG/LTR兩種

2、控制策略進行仿真分析；當(dāng)考慮系統(tǒng)中的氣浮阻尼力因素，建立工件臺控制系統(tǒng)含氣浮阻尼力的模型，對模型進行分析并應(yīng)用滑模變結(jié)構(gòu)算法仿真研究；針對實際系統(tǒng)中存在的問題進行分析，主要是溫度的變化和系統(tǒng)的干擾力作用，提出相應(yīng)的解決方案，并驗證控制算法的可行性。光刻機的工件臺控制系統(tǒng)是一種高定位精度、高響應(yīng)速度、幾乎無超調(diào)的伺服系統(tǒng)，本文的著重點在于光刻機的工件臺伺服系統(tǒng)控制算法研究，并通過仿真實驗證明：所設(shè)計的宏微控制系統(tǒng)有較高的控制精度、快速的響