宏微結(jié)合回轉(zhuǎn)工作臺(tái)方案設(shè)計(jì)及微驅(qū)動(dòng)電路研制.pdf

1、高精密定位技術(shù)是精密加工的關(guān)鍵技術(shù)之一?；剞D(zhuǎn)工作臺(tái)的定位精度越來(lái)越受到關(guān)注，宏微結(jié)合的驅(qū)動(dòng)方式在在許多高精密定位系統(tǒng)中得到廣泛應(yīng)用，微位移技術(shù)成為高精密定位系統(tǒng)中的關(guān)鍵技術(shù)。
　　通過(guò)對(duì)國(guó)內(nèi)外微位移技術(shù)應(yīng)用現(xiàn)狀了解知道，電致伸縮器件帶來(lái)了納米級(jí)定位。在平動(dòng)工作臺(tái)中它已經(jīng)得到了廣泛的應(yīng)用。同樣的，本文設(shè)計(jì)了一套方案，利用了壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器來(lái)提高回轉(zhuǎn)定位精度。同時(shí)設(shè)計(jì)了回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的整體結(jié)構(gòu)方案，包括電機(jī)的選型和匹配計(jì)算，編碼器的選擇，伺

2、服系統(tǒng)的定位控制計(jì)算等。利用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器來(lái)提高定位精度，在回轉(zhuǎn)工作臺(tái)的定位精度上是一個(gè)大的提高，同時(shí)，它也給我們帶來(lái)了新的思考和新的方向。
　　微位移驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)是電致伸縮器件傳遞位移的中間環(huán)節(jié)。設(shè)計(jì)合理的柔性鉸鏈?zhǔn)蔷葓?zhí)行的保證。在完成對(duì)柔性鉸鏈機(jī)械結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)計(jì)算的同時(shí)，通過(guò)有限元分析對(duì)柔性鉸鏈進(jìn)行了分析。同時(shí)還對(duì)壓電陶瓷進(jìn)行了選型。
　　壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)電源是微進(jìn)給裝置的關(guān)鍵部分，在權(quán)衡高精度和負(fù)載能力的情況下，設(shè)計(jì)并實(shí)現(xiàn)了壓