2023年全國(guó)碩士研究生考試考研英語(yǔ)一試題真題（含答案詳解+作文范文）_第1頁(yè)
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1、隨著工業(yè)的不斷發(fā)展，工業(yè)排放的硫化氫氣體對(duì)人們的生活產(chǎn)生了較為嚴(yán)重的危害，所以，對(duì)硫化氫氣體的檢測(cè)至關(guān)重要。對(duì)于有毒害氣體的檢測(cè)，半導(dǎo)體氣體傳感器發(fā)揮重大作用，因而氣敏材料的創(chuàng)新研究是近些年的科研重點(diǎn)。針對(duì)硫化氫氣體研發(fā)出一種具有高選擇性、高穩(wěn)定性、高靈敏度和低成本的氣敏材料具有重要的實(shí)際意義。
　　因而，本文研究的氣敏材料是基于檢測(cè)硫化氫氣體的α-Fe2O3薄膜材料。首先，利用溶膠-凝膠法制備了無(wú)摻雜溶膠和Ni摻雜分別為2.5a

2、t.％、3.5at.％、4.5at.％的溶膠，利用旋涂法將溶膠旋涂在叉指電極上，其中，叉指電極是基于微電子技術(shù)完成制作的。在高溫下退火，制備出不同的α-Fe2O3薄膜材料的氣敏元件，之后，對(duì)這些薄膜材料的氣敏性能進(jìn)行了測(cè)試。
　　通過對(duì)無(wú)摻雜α-Fe2O3薄膜材料和不同Ni摻雜α-Fe2O3薄膜材料的氣敏特性分析，我們得出不同Ni摻雜的α-Fe2O3薄膜的最佳工作溫度為300℃，無(wú)摻雜的α-Fe2O3薄膜的最佳工作溫度為325℃;

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