半導(dǎo)體制造業(yè)含氟廢物處理及綜合利用的研究.pdf

1、半導(dǎo)體集成電路行業(yè)是一個國家信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ)，該行業(yè)在未來將會有迅猛的發(fā)展。隨著制造規(guī)模的不斷擴大，其制造活動對環(huán)境所造成的影響也會日益增加。芯片制造企業(yè)水平各有特色，創(chuàng)建符合行業(yè)特色的切實可行的生產(chǎn)廢水廢物的處理模式，對保護環(huán)境，促進生產(chǎn)都有著深遠的影響。
　　半導(dǎo)體集成電路行業(yè)制程需要使用幾百種化學(xué)品，廢水廢氣處置工藝要求極高。在生產(chǎn)過程中含氟廢水產(chǎn)生量最大，目前國內(nèi)企業(yè)基本以達標(biāo)排放或填埋為目標(biāo)進行處置。氟作為一種化學(xué)品既

2、具有毒性會污染環(huán)境，又是社會生產(chǎn)生活中必不可缺的社會資源。簡單的以達標(biāo)排放為目的的處置方式不能滿足半導(dǎo)體集成電路行業(yè)實現(xiàn)綠色生產(chǎn)保護環(huán)境的目標(biāo)。本文通過工程試驗方式將找出適合半導(dǎo)體集成電路行業(yè)含氟廢水的最佳處理方法并且最終實現(xiàn)了含氟廢物的綜合利用。本文主要兩方面研究內(nèi)容如下:
　　(1)對半導(dǎo)體集成電路行業(yè)生產(chǎn)過程所產(chǎn)生的含氟廢水處理進行研究，通過分析現(xiàn)有的3種處理方法，找出石灰絮凝沉淀法是該行業(yè)最佳處理方法。對比傳統(tǒng)研究石灰2.

3、0-2.5倍的投加方式，提出先加硫酸然后投加1.2倍左右石灰的新方式，并通過單因素實驗獲得更優(yōu)化的反應(yīng)條件:石灰投加理論計算量1.2倍左右，pH=8.5，PAC投加質(zhì)量濃度為500mg/L。工程應(yīng)用證明在這些參數(shù)的操作下，廢水不僅能夠達到一級水排放標(biāo)準(zhǔn)，長期監(jiān)測顯示氟含量能夠控制在10mg/L。且該方法投藥量降低一半以上，同時末端的含氟污泥也有顯著降低，無論從運行成本還是處理成本上都將有良好的經(jīng)濟效益。
　　(2)在對含氟廢水處理

4、后所產(chǎn)生的污泥進行深入研究，通過實驗證明該含氟廢物對環(huán)境存才極大危害，同時又具備相當(dāng)大的社會價值。在成功研究含氟廢水的基礎(chǔ)上，對廢水處理后所產(chǎn)生的含氟污泥進行有效研究，綜述了現(xiàn)有的氟化鈣污泥處理處置技術(shù)，包括直接應(yīng)用，充當(dāng)幾種其它工業(yè)原料以及利用其化學(xué)性質(zhì)等。通過對半導(dǎo)體行業(yè)產(chǎn)生的氟化鈣的物質(zhì)分析，確定該物質(zhì)替代螢石在水泥生產(chǎn)中作為原料使用為最佳方案，通過和水泥廠的合作試驗證明氟化鈣資源化利用切實可行，最終通過工程應(yīng)用不僅實現(xiàn)了廢物資源