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1、半導(dǎo)體裝備制造業(yè)是典型的資本密集型、技術(shù)密集型產(chǎn)業(yè),而且是多學(xué)科、多種工藝集成的具體表現(xiàn),是一項(xiàng)集半導(dǎo)體材料學(xué)、流體力學(xué)、化學(xué)、精密光學(xué)、精密機(jī)械學(xué)、真空、電子電路、自動(dòng)化控制和計(jì)算機(jī)等多學(xué)科于一體的大系統(tǒng)工程,需要多學(xué)科人員的協(xié)同攻關(guān)。半導(dǎo)體行業(yè)的回升和衰退與國(guó)內(nèi)生產(chǎn)總值(GDP)的回升和衰退密切相關(guān)。一個(gè)國(guó)家的半導(dǎo)體裝備制造業(yè)水平,決定這個(gè)國(guó)家的半導(dǎo)體行業(yè)水平,繼而決定這個(gè)國(guó)家的綜合競(jìng)爭(zhēng)力和國(guó)際影響力。從半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)歷史來(lái)看,“一代設(shè)
2、備,一代工藝,一代器件”。這表明它們之間是相輔相成的、互相促進(jìn)的,尤其是設(shè)備與工藝是互動(dòng)的。由于更新?lián)Q代非常快,所以半導(dǎo)體裝備制造業(yè)是一個(gè)高投資、高風(fēng)險(xiǎn)的行業(yè),同時(shí)也是創(chuàng)新最快的一個(gè)領(lǐng)域。
本文分析了美國(guó)半導(dǎo)體裝備制造業(yè)的霸主地位形成的歷史原因和客觀原因,介紹了日本、韓國(guó)企業(yè)的半導(dǎo)體裝備制造業(yè)崛起之路;分析了中國(guó)半導(dǎo)體裝備業(yè)的技術(shù)落后、創(chuàng)新不足、企業(yè)數(shù)量少、產(chǎn)品品種少等特點(diǎn);結(jié)合半導(dǎo)體裝備制造業(yè)的特性,給出了發(fā)展我國(guó)半導(dǎo)體
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