CMOS圖像傳感器像元設計及制造工藝優(yōu)化.pdf

1、圖像傳感器屬于光電產(chǎn)業(yè)里的光電元件類,隨著數(shù)碼技術、半導體制造技術以及網(wǎng)絡的迅速發(fā)展,目前市場和業(yè)界都面臨著跨越各平臺的視訊、影音、通訊大整合時代的到來,勾劃著未來人類的日常生活的美景。以其在日常生活中的應用,無疑要屬數(shù)碼相機產(chǎn)品,其發(fā)展速度可以用日新月異來形容。隨著近幾年數(shù)字消費市場的快速發(fā)展,圖像傳感器的需求量越來越大,大規(guī)模應用于手機攝像頭,數(shù)碼相機,電腦攝像頭,光電鼠標,汽車電子,醫(yī)療電子等。因此,其關鍵零部件——圖像傳感器產(chǎn)品

2、就成為當前以及未來業(yè)界關注的對象,吸引著眾多廠商投入。以產(chǎn)品類別區(qū)分,圖像傳感器產(chǎn)品主要分為電荷耦合器件C C D(ChargeCouple Device)和互補性金屬氧化物圖像傳感器C I S(CMOS Image Sensor)兩種。目前,在中高端市場,CCD由于其高靈敏度(Sensitivity),更好的信噪比SNR(Signal Noise Ratio),更廣的動態(tài)范圍(Dynamic Range)占有絕對的市場份額,但與之相比

3、,CMOS圖像傳感器由于其低成本,易制造(通用于一般的CMOS制造工藝),低功耗,集成度高(可在同一芯片中實現(xiàn)A/D轉(zhuǎn)換,信號處理,自動增益控制,精密放大和存儲功能)等明顯的優(yōu)勢而越來越有取而代之的趨勢。
　　 本論文闡述了CMOS圖像傳感器的工作原理,介紹當前CIS的發(fā)展狀況,主要工作是優(yōu)化設計像素單元結(jié)構(gòu),向客戶提供最好的像元結(jié)構(gòu),并且改良CIS芯片制造工藝,從而提高CMOS圖像傳感器的靈敏度,動態(tài)范圍,信噪比和減少暗電流,