CMOS圖像傳感器的失效分析及工藝改進(jìn).pdf

1、自上個(gè)世紀(jì)60年代圖像傳感器問世以來(lái)，圖像傳感器便得到了廣泛的應(yīng)用，比如數(shù)碼相機(jī)，安防及監(jiān)控設(shè)備，手機(jī)，視頻攝像機(jī)，醫(yī)療系統(tǒng)，機(jī)器視覺，傳感器，電腦攝像頭，游戲設(shè)備等都離不開圖像傳感器，可以說(shuō)圖像傳感器已經(jīng)深入的滲透到我們生活的每個(gè)角落。CMOS（互補(bǔ)金屬氧化物半導(dǎo)體）圖像傳感器與CCD（電荷耦合器件）圖像傳感器的研究幾乎是同時(shí)起步，但由于受當(dāng)時(shí)半導(dǎo)體制造工藝水平的限制， CMOS圖像傳感器圖像質(zhì)量差、分辨率低、噪聲高和光照靈敏度不夠，

2、因而沒有得到重視和發(fā)展。上世紀(jì)90年代初，隨著大規(guī)模集成電路設(shè)計(jì)技術(shù)和工藝制造水平的不斷提高，CMOS圖像傳感器過(guò)去存在的缺點(diǎn)現(xiàn)在都可以找到辦法克服，而且它固有的優(yōu)點(diǎn)更是CCD器件所無(wú)法比擬的，因而它再次成為研究的熱點(diǎn)。
　　本文首先對(duì)CMOS圖像傳感器的發(fā)展歷史、工作原理、應(yīng)用、工藝特點(diǎn)及發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了研究，并對(duì)半導(dǎo)體芯片產(chǎn)業(yè)中用到的先進(jìn)失效分析技術(shù)手段、方法的原理和應(yīng)用進(jìn)行了綜述，如光學(xué)顯微鏡、掃描電子顯微鏡、透射電子顯微鏡、