提高CMOS圖像傳感器靈敏度的工藝優(yōu)化方法.pdf

1、隨著集成電路制造工藝技術(shù)的發(fā)展和集成電路設(shè)計(jì)水平的不斷提高，基于CMOS集成電路工藝技術(shù)制造的CMOS圖像傳感器由于其自身的優(yōu)勢(shì)，目前在諸多領(lǐng)域中得到了廣泛的應(yīng)用，如數(shù)碼電子產(chǎn)品、視頻電子郵件、醫(yī)療設(shè)備、保安監(jiān)控、可視通信、眼膜識(shí)別、工業(yè)視頻監(jiān)控、視覺玩具等社會(huì)生活和工業(yè)生產(chǎn)的方方面面，特別是數(shù)碼產(chǎn)品例如數(shù)碼相機(jī)、照相手機(jī)的圖像傳感器應(yīng)用方面，市場(chǎng)前景廣闊，所以對(duì)CMOS圖像傳感器的研究與開發(fā)有非常高的市場(chǎng)價(jià)值。 本文首先簡(jiǎn)要介

2、紹了CMOS圖像傳感器的研究背景、發(fā)展歷程及其發(fā)展趨勢(shì)，并比較了CMOS圖像傳感器和CCD圖像傳感器的優(yōu)缺點(diǎn)。 隨后研究了CMOS圖像傳感器的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和作用、CMOS圖像傳感器的芯片組成部分和功能、及采用4T技術(shù)CMOS圖像傳感器像素的工作原理及其圖像信號(hào)的處理流程。然后從半導(dǎo)體的光學(xué)基本性質(zhì)出發(fā)，討論了光電效應(yīng)的基本概念，分析了影響CMOS圖像傳感器的靈敏度的相關(guān)因素，如量子效率和光學(xué)效率，并運(yùn)用光學(xué)模擬軟件對(duì)不同CMOS圖像